超聲懸浮傳輸及駐波-行波混合驅動技術

在先進制(zhi)造(zao)領域，精密零件的(de)制(zhi)造(zao)和封裝等過程(cheng)不(bu)僅對環境(jing)要求高，零件的(de)轉運也是(shi)(shi)保證質量(liang)的(de)關(guan)鍵環節。針對大(da)尺寸超薄玻璃(li)基板(ban)，探索一種非接觸、無污染、微重力的(de)懸浮傳輸技術的(de)理論支(zhi)撐基礎是(shi)(shi)目前亟待解(jie)決的(de)問題。

在各種非接觸傳(chuan)輸(shu)技術(shu)中，超(chao)聲懸(xuan)(xuan)浮傳(chuan)輸(shu)的優勢應(ying)運而生。本文總結了不同傳(chuan)輸(shu)方式對被傳(chuan)輸(shu)物體(ti)(ti)的體(ti)(ti)積、傳(chuan)輸(shu)的范圍及速度(du)的限制，分析了駐波-行(xing)波混合驅動進行(xing)超(chao)聲懸(xuan)(xuan)浮傳(chuan)輸(shu)可能存在的問題，展望了聲懸(xuan)(xuan)浮傳(chuan)輸(shu)的應(ying)用前景。

聲懸浮現象是高聲強聲場中的(de)一種非線性(xing)現象。

在駐波聲場中，可以通過聲輻射壓力將懸浮目標捕獲在聲場平衡位置。

對被懸浮物傳輸時，可以通過主動調制諧振腔中聲壓分布，實現駐波聲場中勢阱點的位置轉移，從而在聲場作用下實現粒子懸浮傳輸。

聲懸浮技術具有以下優點：良好的生物相容性；水平聲壓梯度產生的水平穩定性；對被懸浮物體沒有特定(ding)屬性、特定(ding)形狀要求等(deng)性質(zhi)。

超聲懸浮傳輸技術按聲波傳播方式分為駐波懸浮傳輸和行波懸浮傳輸。

目前，聲懸浮傳輸/操縱的方法按照聲場的種類可(ke)以(yi)分(fen)為(wei)駐波(bo)調(diao)節、換能器陣(zhen)列和行波(bo)驅動等方式(shi)。

基于單軸式裝置駐波節點

調節的小物體懸浮傳輸

駐波懸浮時，聲波在對稱的諧振腔中反復疊加形成駐波聲場，物體(ti)懸(xuan)浮在聲壓(ya)節(jie)點附近。

因此，可以控制頻率、諧振腔長度和相位改(gai)變(bian)聲壓節點位置，在駐波懸浮的基礎上(shang)進(jin)行傳輸(shu)。

Kozuka等使用線聚焦懸浮裝置，通過調整聲源頻率和對換能器輸出面的分區驅動，實現了氧化鋁小球的二維移動。

另一工作通過改變諧振腔長度的方式移動聲壓節點，使用單換能器實現了小液滴的超聲駐波傳輸。

此外，若通過調整相位的方式，可以獲得更為連續穩定的(de)一維懸浮傳輸能力。

Matsui等在1995年即采用對置式換能器裝置，對聲源相位差與(yu)懸浮位置和聲輻射力的關系進行了實驗研究。

為了擴大傳輸范圍，增加聲場的多樣性，除了調制聲場本身的參數，還可以設計不同形式的諧振腔。

有研究人員研制了非軸對稱超聲懸浮裝置，對交叉的聲束形成的聲場聲壓分布進行了計算和仿真，并實現聚苯乙烯小球的正弦型和橢圓型軌跡傳輸，發現調相的方法傳輸范圍更大，傳輸過程更平穩。

另一項工作中研制的二維軸線交叉裝置，實現了懸浮物水平方向直線傳輸12 mm，且(qie)矩(ju)陣法計(ji)算聲(sheng)場的數值計(ji)算結果與實驗相(xiang)符。

可見，采用調節2個換能器的激勵相位差和幅值的方法，可以實現小物體的連續超聲駐波懸浮傳輸。

基于換能器陣聲場調制的

物體懸浮傳輸

為實現長距離和大范圍的懸浮傳輸，可以將多個單軸式的裝置組合起來，形成換能器陣列。

有研究團隊搭建了由24個壓電換能器組成的環形壓電換能器陣，該裝置通過切換電極片間的輸入信號，旋轉激勵平面與反射面間的駐波聲場，在直徑為30 mm的激勵平面上實現了7.5°的移動精度，完成了聚苯乙烯小球圓形懸浮運動。

環(huan)形(xing)壓電(dian)換能器(qi)陣/環(huan)形(xing)懸浮傳(chuan)輸實(shi)物照片(pian)

在此基礎上，研究團隊將此裝置與直線傳輸裝置結(jie)合(he)，進(jin)行(xing)被傳輸物體的(de)彈(dan)出與捕獲(huo)，實現了曲(qu)線與直線傳輸軌跡的(de)轉換。

環(huan)形壓(ya)電換能器陣/環(huan)形懸浮傳輸原理示意

另一種由多個15 mm×15 mm換能器組成的陣列（LPT），通過控制相鄰換能器的振幅，使直徑1.5 mm的懸浮液滴(di)在(zai)陣元(yuan)之間平滑地移動與(yu)融合。

團隊同時研究了液滴間懸浮混合、固液間懸浮混合、細胞DNA轉染等技術，證實該裝置也能實現細長型物體的傳輸。

LPT陣液滴懸浮傳(chuan)輸

在此基礎上，研究團隊換用彈性反射面，利用聲壓引起的反射面變形增強聲場強度，實現了直徑5 mm，重5 g的鋼球懸浮傳輸。

鋼球懸浮傳輸

Dong等使用類似的技術，實現了聚苯乙烯小球的多層懸浮傳輸。

換能器陣列也能夠實現三維傳輸，Hoshi和Ochia等利用相控陣聚焦技術，使用三維換能器陣式懸浮裝置，可(ke)在空間(jian)任意位置產生駐波，實現(xian)直徑為0.6 mm的多個聚苯乙烯的三維(wei)位置改變。

該裝置可以懸浮起最大密度為5 g/cm3的物體組成圖形，并應用于毫米級物體的模擬。

綜上所述，利用多個換能器組成的換能器陣，調節相鄰陣元間的激勵相位差和幅值，可以實現小物體的連續超聲駐波懸浮傳輸。

基于行波驅動的物體懸浮傳輸

駐波懸浮傳(chuan)(chuan)輸時，被捕(bu)獲在節點(dian)(dian)的物體隨(sui)節點(dian)(dian)位置的移動而移動，只(zhi)能傳(chuan)(chuan)輸球形且(qie)尺寸小(xiao)于波長的物體，且(qie)限制了傳(chuan)(chuan)輸速度(du)與傳(chuan)(chuan)輸距離。

行波懸浮傳輸依(yi)靠行波(bo)在振動彈性體內的(de)傳播，推動被(bei)懸浮(fu)(fu)物(wu)(wu)移(yi)動，可以突破駐波(bo)懸浮(fu)(fu)傳輸對被(bei)懸浮(fu)(fu)物(wu)(wu)體尺寸、移(yi)動范圍和移(yi)動速度的(de)限制。

Hashimoto采用行波傳輸，實現了基于行波驅動的大物體、快速、長距離超聲懸浮傳輸。

該長距離超聲懸浮傳輸采用2個換能器“激振-吸振"模式，其(qi)中(zhong)一(yi)個換能(neng)器吸振，在振動平面上形(xing)成行(xing)波。當吸振換能(neng)器接入的匹配電路參數調制合適時，可獲得純(chun)行(xing)波。

他們還改進了振動彈性體的橫截面形態，從而增強了傳輸的橫向穩定性。

在實際應用中需要引入額外的測量和控制方法，對匹配電路的參數進行實時調整，導致這種方法的實用化成本較高、控制難度大。

在“激振-吸振"模式的研究中，也采用硅橡膠等減振材料用于物理“吸振"。這(zhe)種減振材料的選(xuan)擇難(nan)度大、體(ti)積(ji)計(ji)算(suan)復雜、安裝(zhuang)困難(nan)。

而無論采用何種方式，“激振-吸振"模式的行波懸浮傳輸都無法實現傳輸的啟停、傳輸方向和傳輸速度的自動控制。

此外，機械波在傳遞過程中產生消耗，行波在振動彈性體上的振幅一端高、一端低，導致了懸浮力分布不均勻。

Ide和Koyama等搭建了2種超聲傳輸裝置，改善了“激振-吸振"方法中存在的懸浮力不均勻問題，提出了兩側換能器同時激勵振動的方式，發現存在特定的兩換能器激勵相位差Δθ，能夠在直線導(dao)軌上形成行波，以138 mm/s的速度傳輸90 g的滑(hua)塊。

基于行波-駐波混合驅動的

物體懸浮傳輸

行波傳輸可以長距離、高速度地傳輸較大的平板物體，然而對行波聲場的計算和仿真有(you)一定難度(du)，對(dui)行波傳輸的研究尚(shang)停留在對(dui)振動分(fen)布(bu)、聲輻射(she)力和懸(xuan)浮(fu)距離的探討層面(mian)。

近年來，對行波-駐波混合驅動傳輸物體時，激勵相位差和懸浮高度、傳輸速度、傳輸方向的關聯性的研究廣泛開展。

目前，基于控制(zhi)激勵相位差的方法已(yi)被(bei)應用于超聲長距(ju)離懸浮傳輸。

有研究人員使用平行對置式換能器裝置，通過連續調節兩換能器的驅動相位差，移動沿振動平板方向的駐波，帶動聚苯乙烯小球、乙醇液滴等小物體的直線懸浮傳輸。

Mu等在類似的裝置上實現了長度為265 mm的行波聲場。

另一項研究在此基礎上對結構進行拓展，在四角布置換能器的170 mm×170 mm聲輻射面內進行懸浮傳輸，通過連續調節相位720°實現了小(xiao)球28 mm的位移。

也有研究人員對平板形物體對駐波聲場聲壓分布的影響進行了仿真計算，并隨后采用控制激勵相位差的方法，進行了25 mm×25 mm×1 mm聚苯乙烯平板的懸浮傳輸實驗，觀察到特定相位時行波成分較高，物體位移顯著增強。

結論

超聲懸浮傳輸技術具有微重力、無容器的環境特點，能夠實現對懸浮物的非接觸操控，可以很好地(di)模擬空間實驗條件。

超聲懸浮傳輸技術對被懸浮物體沒有特定屬性要求，橫向穩定性較好，有良好的生物相容性，可以為研究提供一個穩定、均勻、無污染的理想環境(jing)，可(ke)廣泛(fan)應用于(yu)材料科學(xue)(xue)、生物化學(xue)(xue)、液滴動(dong)力(li)學(xue)(xue)等科學(xue)(xue)領域(yu)。

在材料科學領(ling)域(yu)，超(chao)聲傳(chuan)輸技術可用于新(xin)型材(cai)料的(de)(de)制(zhi)備(bei)與檢測(ce)(ce)，通(tong)過控制(zhi)被懸浮物體(ti)的(de)(de)位置(zhi)及高度(du)等，不僅確保了被分析的(de)(de)小液滴遠(yuan)離容器(qi)(qi)壁(bi)以避免污染，還實現了監測(ce)(ce)，避免容器(qi)(qi)壁(bi)對檢測(ce)(ce)的(de)(de)影響。

在制造業和生物技術領域，超聲傳輸(shu)技術可(ke)以(yi)實(shi)現晶圓和微機電(dian)系統（MEMS）零件的穩定翻轉(zhuan)、定速(su)運(yun)動等操作，在(zai)非接觸的情況下完成晶圓的精密定位和MEMS的準(zhun)確裝配。

在液滴動力學的研究中(zhong)，超聲傳(chuan)輸技術可(ke)以保障液滴(di)準確并穩定(ding)地撞擊，從而高效完成動力(li)學(xue)性能的分析實驗(yan)。

隨著中國在先進(jin)電(dian)子制造領域(yu)和微機電(dian)系統(tong)技(ji)術領域(yu)的(de)進(jin)步，對精密器件的(de)轉運提出了(le)更高的(de)要求。

超聲懸浮傳輸具備巨大的發展潛力和廣泛的應用前景，但還需要進一步改進系統集成度，完善動態聲場下物體傳輸的機理，并解決被傳輸物體的位置、方向、速度的控制問題，推(tui)進中國在先進電子制(zhi)造領域(yu)和(he)MEMS技(ji)術(shu)領域(yu)的發展。

超聲懸浮傳輸及駐波-行波混合驅動技術